女研究員李佳琪一邊細心聽講,一邊快速記筆記,時不時發出感歎。
“許組長講得好清楚呀,我受教啦!”
“曝光係統如此複雜,能達到這樣的精確控製真是太難得了。”李佳琪由衷地讚歎道。
吳靜眉頭緊皺,她悄悄走到許一秋身後,輕輕拉了拉他的衣袖,想引起他的注意。
許一秋看了一眼吳靜,微微一笑,沉穩地說對他們說道:“這隻是基礎,未來的研發還會更加困難和複雜,你們要學的還有很多。”
在新的測試儀器調試好後,許一秋進行了一次完整的曝光實驗。
他先用計算機編輯了測試用的圖案,然後通過精確控製光源強度和快門時間,在感光板上印出了清晰的圖案,整個過程令在場的年輕研究員們都目瞪口呆。
“太厲害了!許組長的操作技藝真是爐火純青。”李佳琪忍不住稱讚道。
許一秋謙虛地笑了笑,說:“這個隻是基礎實驗,接下來我們要研發出更精密的曝光係統,才能使光刻機的成像達到級納米量級的精度。”
“許組長,光刻機的曝光係統中,快門技術的調控模式有哪幾種?”李佳琪好奇問道。
“主要有機械快門、液晶快門和電控快門三種。”許一秋解釋道。
“那其中的差異是什麽呢?”李佳琪繼續問,臉上充滿了親昵。
吳靜撅了撅鼻子,她不甘心地偷偷捏了捏許一秋的手,還踮起腳尖要看他的說明圖紙。
“給我康康。”
吳靜擋在兩個人中間,還故意吵吵嚷嚷問些一些問題。
“一秋,我有個問題啊!曝光係統中的光強度分布是怎麽計算和控製的呀?”
許一秋看了吳靜一眼,繼續說:“光強度分布是根據光刻機的曝光模型......”
正當李佳琪又想繼續問些什麽時,吳靜又插話,“剛才你說的快門技術,機械快門靠的是什麽原理實現的?”