“我自己設計的。”
駱垚的眼睛和楊明的眼睛開始對視。
駱垚眼中一絲情緒都沒有,楊明看不穿駱垚的想法,但直覺告訴他這事如果真是駱垚幹出來的,那可以入選天方夜譚故事集選了。
楊明試探的問道:“小同誌,這事情可不能開玩笑,EUV光刻機光源係統這套技術現在連醜國那邊都沒有掌握,你確定是你自己設計的?”
駱垚早就知道對方有此一問,所以很快地說起了原理:“光刻機一般分兩種,一種是DUV,而另一種就是EUV,DUV使用的光源波長是193納米,而EUV使用的是13.5納米波長的光源。”
“所以如果要製造更小尺寸的芯片,就需要更短波長的光,也就是EUV的光源。”
“實際上我們都知道EUV的光源使用的還是193納米的光,但是用它去連續擊打兩次液態金屬錫,就能得到13.5納米的光。”
“截止到這裏都很簡單,不過最難的是它的光路係統中的零件,也就是透鏡。”
楊明邊聽邊點頭。
透鏡的成本占到了整個光刻機的40%左右,成本相當高昂。
光刻機的透鏡就跟照相機鏡頭,由不同形狀的鏡片組成。
如果想更好的理解光刻機,也可以說它是一台大型的照相機。
不同的是,普通的照相機是來拍妹子的,而光刻機則是用來把集成電路圖形通過曝光顯影的原理,複製到晶圓上。
所以透鏡就和照相機鏡頭一樣,主打就是一個貴字。
就是打月亮的神鏡頭,都要叫光刻機透鏡一聲爸爸。
光刻機上麵現在有二十多塊透鏡,現在能造出來的隻有三家國外工廠,華國這邊則還在研發中。
“當初這透鏡就難倒了我們,長機那邊產的透鏡,透光率和光滑程度再怎麽做也做不到外國那樣,光源在上麵反射出來的效果根本沒法用。”楊明說到這個事情就覺得傷心。