重塑千禧年代

第252章 一子解雙征

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方卓是在深夜十一點五十二分落地合肥,繼而前往冰芯廠區,到達時已經逼近淩晨一點。

如此匆匆,隻因為這邊通知了新陽研發實驗室的最新消息,由柴慶良領導的一支團隊在使用新的聚酯環族丙烯酸酯之後構建出了合適的樹脂體係,進而在原有的基礎上推出一款ArF光刻膠,經初步測試之後呈現的結果是——可用。

隻是初步測試,但簡單的兩個字格外動人心弦。

“可用”。

任何人都知道易科與冰芯如今的處境,也因此,當方卓接到電話,他就知道敢於在這種情況通知給自己的信息必然極其關鍵,也必然已經有了相當的把握,隻是出於謹慎沒有打出百分百的包票。

淩晨一點十五分,方卓見到做出可用光刻膠的研發團隊負責人柴慶良,聽取他對相關情況的匯報。

柴慶良語速不快,重點談到新的環族結構對聚合物在耐熱性、光學性能等方麵的影響,以及,三種配方樹脂的相互作用。

方卓對研發人員的匯報特點已經頗為習慣,耐心聽完這一通講述,詢問道:“這樣的光刻膠應用到生產之中,預計剛開始的良率能達到多少?”

“30%左右。”柴慶良平靜地答道。

這樣的良率對於一家晶圓製造企業無疑是不合格,是難以提供競爭力的,但是,這已經解決了從無到有的問題。

在座的人都清楚這種突破所能帶來的意義。

不過,作為新陽的掌門人,王福翔聽到這裏還是多說了兩句:“這次的光刻膠繼續調整配方成分,提高它對波長光的敏感性,降低線寬粗糙度再提高成像質量,相信能在良率上繼續獲得提升。”

他扭頭看向柴慶良,問道:“對吧,我這樣說沒錯吧?”

柴慶良沉吟片刻,慢吞吞地答道:“理論上是這樣,但實際工作上的推進也不一定,反正就是做做看。”