“周董，你們是如何把光刻機工件台運動精度誤差控製在如此低程度的？”
童院長此時開口開口問道。
“我們自身研製出了超高精度的脈衝編碼器可以對直線電機進行納米級別的移動，另外控製係統裏麵導入了動態誤差補償算法。”
周曉東說道：“我們在大功率脈衝電源技術和功率放大器技術上技術底子做得還是很不錯的，自身能研製出直線電機超高精度的脈衝編碼器和高精度驅動電源模塊和高性能的功率放大器模塊，這方麵的技術我們比國外產商做得還要好。”
“另外我們自己研製的超高精度光柵尺可以做到一納米的分辨率，運動定位誤差在四納米，性能比德意誌的雷尼紹光柵產品還要好。”
“這……你們是如何做到的？”
童金亮吃驚地問道。
“是這樣，我根據莫爾條紋及四倍頻直接細分的原理自己寫了一套細分算法，這套算法寫入了一顆專用插值芯對前端輸出的正交信號進行插值細分，再利用編程芯片對插值細分後的信號進行二次細分，通過測試驗證後我們設計的這套電子細分盒實現了高達二百五十六倍的細分，目前德意誌那邊隻能做到一百二十八倍的細分。”
“……”
在座的這些專家院士半天說不出話來。
“這套超高精度光柵尺裝置做出來後和我們研製的直線電機產品配套，可以說解決了國產一眾半導體設備超高精密運動部件運動測控定位的技術需要。”
周曉東開口說道。
他自己帶著星環科技、牧野電子科技公司和玄思科技公司的這些技術團隊親自動手搞定了超高精度的光柵尺裝置和磁懸浮直線電機等多項關鍵子係統裝置後，總算是順利地將光刻機需要的工件台係統和掩膜台係統給搞出來了。
拿下了這方麵的關鍵技術，現在星環科技公司這支技術團隊已經開始在研製晶圓級鍵合設備和激光退火設備，雅迪電子科技公司這邊在研製研製全自動引線鍵合設備和多種晶圓清洗機設備，而玄思科技公司則在研製相幹探測顯微鏡設備和橢偏儀設備以及熱波係統檢測設備，用來前道芯片製造工藝的檢測。