作為一名從事相關專業的博士生,張明傑也清楚,其實國內對DUV光刻機的研究,也算比較深了。
各種設計圖,不說全套,但差不多他也都見過。
即便EUV技術,雖然有阿斯麥的技術限製,但國內其實也大致摸清了一些參數的。
當然,摸清是一回事。
要製造出來,量產商用,那又是另外一回事。
更何況還是大致摸清?
且不提這中間存在大量需要攻克的技術難題,光是西方的專利壁壘就明顯很難繞過。
這個問題相當的棘手。
光是張明傑知道的。
所裏好幾個大牛的項目組,都在研究繞過專利的方法。
隻可惜那麽長時間過去了,也沒聽到有什麽消息。
而現在擺在眼前的這張設計圖。
卻讓他來興趣了。
單單從圖紙上麵標明的各項參數來看。
明顯和阿斯麥的EUV不太一樣。
但身為作風嚴謹的科研工作者,張明傑不會因為一張圖紙就認為對方手握EUV光刻技術。
說不定這是改款的DUV呢?
而且純從常理來看,光刻機作為當下的大熱門項目,那麽多專家教授都在努力研究,各種技術路線幾乎都被探討過。
怎麽可能突然冒出來一條新設計?
新思路?
想想也知道不可能。
張明傑覺得,要麽是許一秋被其他人給騙了,以為那真的是全新的EUV設計圖,要麽他純粹就是以光刻機為噱頭進行炒作。
嗯!
大概率是在炒作博取名氣。
“隻可惜他忽悠得了外行人,忽悠不了內行啊。”
張明傑搖搖頭,放下筷子就準備反駁。
然而,這時候許一秋又拿出了一張全新的設計圖,釘在黑板上,開始講解起來。
看到這張設計圖後。
張明傑的目光逐漸凝住了。
“不對,這是實驗參數?”
“還有進一步的理論分析?”