會議室裏的三十多號教授,院士等相關專業的專家全部被屏幕上的設計圖驚的目瞪口呆。
甚至還有人直接從座位上站了起來,渾身顫栗。
“這!”
“這明顯是和阿麥斯不同的EUV光刻機製造思路啊!”
“這人居然使用了光子學零件檢測與控製實現了更加精確的定位!”
“完全取代了阿麥斯的波片疊加係統?”
一群專家緊緊地盯著投影儀上的設計圖思路,老臉上布滿了震驚和不可思議。
“太妙了,太妙了!”
“研發這麽多年了,我們怎麽就沒有想到利用這種方式攻克呢!”
一群老家夥們激動的老臉通紅,一個個敲桌子拍大腿。
沒有外人能夠體會到他們現在的心情有多澎湃。
一個項目研發了多年,遲遲沒有得到進展。
此刻,一張清晰易懂的設計圖擺在了他們的麵前。
這種感覺就像是醍醐灌頂,豁然清醒!
無疑是見證了技術攻克的曆史性一刻。
值得所有人去興奮和呐喊。
“你們再看看這一張圖紙。”
項目研究組長徐鴻遠拿出遙控器,又在屏幕上麵調出了另外一張設計圖紙。
那是一張光刻機的投影鏡係統,上麵包括6-8麵高精度的非球麵鏡片,借助多次反射將掩模上的圖案縮小投影到了晶圓上,每個鏡片的位置精度整整達到了3nm級別。
看到這震撼的一幕。
在場所有的專家教授再次炸鍋了。
“居然采用了機械動態調整,在每個鏡麵的表麵形狀和位置控製在了3nm量級!”
會議室裏,不知是誰倒吸了一口冷氣。
一時間,房間中陷入了短暫的沉默。
就連內閣大佬李副總也是神情劇烈變換,像是看到了什麽不可思議的畫麵一樣。
“天才。”
“這絕對是天才般的思路和設計!”