第二年，日本政府派出了藤原清河大使為第十次遣唐使，他們在返回日本之前，向唐玄宗正式提出聘請鑒真去日本傳戒的要求。藤原清河還親自到揚州拜訪鑒真，向他發出邀請，這時候，揚州的僧侶仍然嚴密地監視著鑒真，不肯再讓他去日本國。鑒真和日本使者隻好約定在黃泗浦會合，在鑒真的弟子仁斡神師的幫助下，十一月的一天晚上，鑒真和他的弟子共24人，悄悄離開寺院，登上了船，開始了第六次東渡。航行一個多月，十二月二十日順利在秋妻屋浦（鹿兒島南端）登陸，鑒真終於實現了多年東渡日本的夙願。跟著他渡海東去的還有23名弟子，裏麵有三名尼僧和三名外國僧人，他們隨身帶去如來佛舍利三千粒，佛像、經書一批，還有其他一些珍貴物品，其中有王右軍真跡行書一帖、王獻之真跡行書一帖。
鑒真一行到達日本之後，受到日本朝野極熱誠的歡迎。他在第二年的二月一日，由九州博多的太宰府到達難波（今大阪）港，唐僧崇道等人前往迎接。二月三日，大納舍正二位朝臣藤原、仲麻呂遣使奉迎，又有名僧30多人前往拜謁。二月四日入首都奈良，聖武天皇派正四位下安宿王在羅城門外候迎慰勞。引入東大寺安頓。第二天，唐道璿律師、婆羅門菩提僧正前往慰問，日本宰相、右大臣、大納言以下朝廷官員百餘人親去禮拜問訊，接著天皇又派正四位下朝臣吉備真備傳達口詔：“大德和尚，遠涉滄波，來投此國，誠符朕意，喜慰無喻。朕造此東大寺經十餘年，欲立戒壇，傳授戒律，自有此心，日夜不忘。今諸大德遠來傳戒，冥契朕心。自今以後，授戒傳律，一任大和尚。”天皇即日又敕僧都良辨抄錄了隨來諸僧的名單，送入禁內，不日即敕授鑒真傳燈大法師位。
當年四月，東大寺盧舍那殿前建起日本第一座戒壇，舉行了極為隆重的授戒儀式，聖武天皇第一個登壇從鑒真大法師受菩薩戒。接著皇後、皇太子也登壇受戒。隨後受戒的有沙彌證修440餘人，還有80多位高僧自願舍棄舊戒而接受大和尚重新受戒。後來在東大寺大佛殿的西邊，移來聖武天皇受戒的壇土築造了永久性的戒壇院。天皇把授戒傳律的最高權限給予了鑒真，並確立了僧人受戒的新製度。日本天平寶字三年（759），鑒真大師又在天皇賜給他的田地上建立了唐招提寺，接收和供養四方來學戒律的人。從此以後，日本律儀漸漸嚴整，師資相傳，“如一燈點燃百千燈”，律宗在日本成為一個獨立的大宗派，與大唐傳去的三論、成實、俱舍、法相、華嚴諸宗並稱“南都六宗”。